集成电路的隐形杀手是静电,静电产生的很快。在一瞬间,它可以爆炸出大量的热量,这些热量会熔化半导体芯片的内部电路或者击穿绝缘层,对集成电路造成毁灭性的破坏。
静电吸引静电吸附
我们知道集成电路生产过程需要洁净车间或超洁净车间。但是,国内很少有厂家能做到洁净室里没有一个颗粒。现在,要求灰尘颗粒的颗粒尺寸从原来的0.3μm降低到现在的0.1μm,但如果吸附的尘粒粒径大于线宽,则容易报废产品。
有时候,客户会问,我们在晶圆生产的全过程中,静电防护做得很好。所有的接地装置都已连接,要用的防静电设备也已使用。而且净化水平也很高。为什么放置一段时间后还会吸灰尘?那是因为FFU高效过滤器安装在生产晶圆的机器或车间里。当气流与产品摩擦时,会产生静电,当静电积累到一定量时,会吸附灰尘。所以我们建议在高效过滤器的下端安装一个没有气源的静电消除器,保证整体的动态平衡空。
静电放电
静电放电是电荷积累的过程。当电荷积累到一定程度时,导体会靠近它产生静电放电。举一个很简单的例子,在干燥的冬天,人在行走和摩擦后很容易积累静电。当我们触摸金属把手或打开车门时,我们会感到电击,这就是静电放电。一般人体有3000-5000V静电时,会感觉到明显的放电。
半导体元件也是如此。有一定静电的半导体器件,如果单独放置或放入电路模块,会立即被击穿。器件受到静电放电影响后,可能不会立即损坏,但会影响元器件的可靠性。
静电放电造成的损失每年可达数十亿美元。因此,许多大型组件和设备制造商引入专业技术来减少生产环境中的静电积累。
电磁干扰电子干扰
静电放电会辐射出大量的无线电波,而这些电波是有频率的,会对周围的微处理器造成很大的干扰,比如混乱的程序指令、混乱的数据、未知的错误信息等。这些问题一般都被忽略,但是一旦出现故障,就会带来很大的危害。



