[拼音]：dianzi tanzhen xianwei fenxiyi
[外文]：electron probe microanalyzer
用电子束轰击固体样品表面，并根据微区内所发射出的 X射线的波长（或能量）的强度进行元素定性、定量分析的仪器，简称电子探针。由电子光学系统、试样台、光学显微镜、 X射线谱仪、电子检测系统和真空系统等组成。其工作原理是将试样置于显微镜下，选定分析位置，以一束细聚焦强电流的电子束激发样品，在直径为1微米、体积为1立方微米区域内的不同元素受激发射出X射线,用波长色散X射线谱仪或能量色散X射线谱仪读出元素的特征X射线，根据特征X射线的强度与浓度的比例关系，进行元素的定量分析。其优点是：测定元素多（原子序数4以上的元素），精密度好,绝对检出限达10-15克；还适用于几微米厚的薄层分析和厚度为几个单分子层的超薄膜分析。对微粒矿物和细小包裹体的鉴定，研究矿物内部的化学均匀性和元素的地球化学特性，具有重要作用。（见彩图）
