[拼音]：diangan ouhe dengliziti guangliangji
[外文]：inductively coupled plasma quantometer
一种以等离子体光源作为激发源的多元素光谱分析仪(见图)。
等离子体光源有直流等离子光源，电感耦合等离子体光源，电容耦合等离子体光源。仪器由等离子发生器、雾化室、炬管、分光计、光电检测系统组成。操作程序，背景校正，数据处理和打印结果都由计算机控制。其工作原理是:由高频发生器（一般为27.12兆赫）提供的高频能量叠加到炬管外面的线圈上，线圈内通水冷却，立于线圈当中的同轴型三层石英管，分别通入不同量的氩气，称为冷却气流，辅助气流和进样气流。点火后炬管端就出现一个氩等离子体焰，最高温度达10000K。试样在高温下被激发而辐射出光, 经分光计按一定波长次序分散, 取得一系列线光谱，通过焦平面上安装的出射狭缝，由光电检测系统接收，将光谱强度与标准相比较，转换为元素的含量。其优点是：分析速度快，干扰少，能同时测定几十种元素，精密度好，测定下限低（一般为μg/m1或更低），线性范围宽等特点。在地质学中用于测定岩石、矿石、矿物和地下水中常量、微量、痕量的金属元素。
