[Æ´Òô]£ºwudingxinggui
[ÍâÎÄ]£ºamorphous silicon
µ¥ÖʹèµÄÒ»ÖÖÐÎ̬£¬Îª×غÚÉ«»ò»ÒºÚÉ«µÄ΢¾§Ìå¡£ÕâÖÖ¹ÌÌå¹è²»¾ßÓÐÍêÕûµÄ½ð¸ÕʯÐ;§°û£¬´¿¶È²»¸ß£¬È۵㡢ÃܶȺÍÓ²¶ÈµÈÊýÖµÒ²Ã÷ÏÔµÍÓÚ¾§Ì¬¹è£»»¯Ñ§ÐÔÖʱȾ§Ì¬¹è»îÆÃ¡£
ÎÞ¶¨Ðιè¿ÉÓÉ»îÆÃ½ðÊô£¨ÈçÄÆ¡¢¼ØµÈ£©ÔÚ¼ÓÈÈÏ»¹ÔËı»¯¹è£¨SiF4»òSiCl4£©£¬»òÔÚ¸ßÎÂÏÂÓÃ̼»òþµÈ»¹Ô¼ÁÓë¶þÑõ»¯¹è×÷ÓÃÖÆµÃ£º
ʽÖÐX´ú±íÂ±ËØ¡£



