超纯水又称UP水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。
蒸馏水是指经过蒸馏、冷凝操作的水，蒸二次的叫重蒸水，蒸三次的叫三蒸水。低耗氧量的水，加入高锰酸钾与酸。工业蒸馏水是采用蒸馏水方法取得。
蒸馏水的制作是把源水煮沸后令其蒸发冷凝回收，要大量耗费热能，造价不会太低，用于制作蒸馏水的源水中的其它遇热蒸发物质，也就随着蒸馏水的生成而冷凝到蒸馏水中。如对健康有害的酚类、苯化合物，甚至可蒸发的汞等。要想得到纯净水或超纯水，必须经过二次、三次的蒸馏还得增加其它纯净手段。同时，常饮蒸馏水就等于放弃了从水中获得人体所需的微量元素的5%的来源。实验室做蒸馏水器是自来水用电加热致沸，其蒸气过冷凝管冷凝成蒸馏水，收集即得。
