1、温度。温度的常规极限通常在37℃～63℃，一般常用的合适温度为505℃。但是当温度高到足以使药物发挥最大作用时，再升高温度，则杀菌作用亦不再加强。
2、压力。预真空度的大小决定残留空气的多少，而残留空气可直接影响环氧乙烷气体、热量、湿气到达被灭菌物品的内部，所以灭菌过程尤其是加湿前真空度对灭菌效果影响巨大。
3、湿度。灭菌物品的含水量、微生物本身的干燥程度和灭菌环境的相对湿度，对环氧乙烷的灭菌作用均有显著的影响。在抽真空后、加药前，此时灭菌器内的湿度应控制30%RH～80%RH范围内。
4、浓度。环氧乙烷浓度为300～1000mg/L，是当今常用的条件。
5、灭菌时间。采用半周期法进行微生物性能验证，在除时间外所有其他过程参数不变情况下，确定无存活菌的EO最短有效作用时间（半周期）。灭菌工艺规定的作用时间应至少为半周期的2倍。
