微小峰谷的高低程度和间距状况称为表面粗糙度。波距小于1mm的属于表面粗糙度，1~10mm的属于表面波纹度，大于10mm的属于形状误差。
零件表面越光滑，磨损量不一定越小。特别光滑的表面磨损反而增大。
取样长度（lr）是测量表面粗糙度时规定的一段基准长度，至少包含5个以上轮廓峰谷。评定长度（ln）是用于判别被评定轮廓的表面整体情况的。一般情况下ln=5lr。轮廓滤波器是把表面轮廓分成长波和短波的滤波器，他们所能抑制的波长为截止频率。
轮廓最小二乘中线：使轮廓各点至该线的距离的平方和最小的线。
轮廓算术平均中线：将轮廓分为上下两部分且面积相等的线。
轮廓算术平均偏差Ra：
轮廓最大高度Rz：最大峰高度和谷深度之和。
轮廓单元宽度：一峰一谷叫做轮廓单元，中线与其相交的长度叫做轮廓单元宽度。Xsi表示。
轮廓单元平均宽度Rsm为一个取样长度内的轮廓单元宽度的平均值。
支承长度率：给定水平位置上轮廓的实体材料长度与评定长度之比。
