2022年4月24日,第三方专业科技成果评价机构——中科合创(北京)科技成果评价中心在昆明依据科技部《科学技术评价办法》的有关规定,按照科技成果评价的标准及程序,本着科学、独立、客观、公正的原则,组织专家对云南师范大学、中国空空导弹研究院光电器件研究所完成的“锑化物多色红外探测材料与器件关键技术研发及应用”项目进行了科技成果评价。 此次成果评价专家委员会由云南冶金集团教授级高级工程师臧健,云南大学教授柳清菊,昆明物理研究所正高级工程师孔金丞,昆明理工大学教授张晶,云南天文台副研究员许方宇等专家组成。 经过专家评审,认为该项目针对锑化物红外探测领域存在的探测波段单一、缺陷密度高、大面积均匀性差等关键技术难题,依托3项国家自然科学基金面上项目,经过12年的技术攻关,获得了锑化物多色大面积超晶格和低缺陷密度的红外探测材料,支撑了宽波段器件产品开发,解决了锑化物红外探测材料制备领域的卡脖子问题,主要创新点如下:发明了分子束外延生长AlInAsSb超晶格材料的优化方法,解决了大面积均匀性和缺陷控制的关键技术问题,获得了4英寸低缺陷密度的锑化物超晶格红外探测材料;发明了基于锑化物超晶格的多色红外探测器及其制备方法,突破了晶格失配、多波段单片集成的瓶颈技术,实现了在同一器件上的多波段同时探测;发现了InSb材料界面载流子陷阱机理,开发了一种抑制表面漏电流的钝化技术,降低了暗电流,提高了灵敏度。授权发明专利5件,发表论文33篇;成果应用于中国空空导弹研究院、北方夜视科技研究院集团有限公司、高功率半导体激光国家重点实验室、北京富吉瑞光电科技股份有限公司等单位,产生了良好的经济效益和社会效益。该成果技术总体达到国内领先水平。经专家组全面审核,与会专家一致同意,“锑化物多色红外探测材料与器件关键技术研发及应用”项目通过科技成果评价。



