真空镀膜的结构谁知道真空镀膜机的结构,有没有离子蒸发式镀膜机的结构图呢，我最主要想知道组装的大致结构和各部分的部件位置，

1。真空室
2。真空获得系统
3。真空检测系统
4。控制系统
5。冷却水系统
6。压缩空气系统
7。电源系统
8。工件转架系统
9。蒸发源系统
10。反应气体系统
11。配电系统
是做毕业设计么?有不明白的可以Hi我