真空泵有哪些类型?

(1)按真空泵的工作原理分类　　①抽除式,真空泵抽吸系统中的气体,并将气体分子排至系统之外。　　②捕集式。真空泵捕集系统中的气体分子,直接吸附在泵工作壁面上而不排出系统。(2)按真空泵结构分类　　①机械式。这类真空泵类似于压缩机,属于容积型的有往复式与回转式结构,还有属于动力式的涡轮分子泵,它们都属于抽除式真空泵。　　②喷射泵。有喷射泵与扩散泵两种形式,还有将二者组合在一起的增压泵,也都属于抽除式真空泵。　　③吸着式。依靠物理或化学方法使气体分子吸着在泵壁表面,属于捕集式真空泵。(3)按真空泵在系统中的工作职能分类　　①主抽气泵。实现所要求压力的主要工作泵。　　②预抽气泵。当主抽气泵不能在大气状态直接开始抽吸时,需要预抽泵先抽至某一压力,主抽气泵方能进入工作。　　③前级泵。当主抽气泵不能将所抽气体直接排入大气时,需串接前级泵排送。　　④维持泵。当主抽气泵完成所要求的压力停止工作后,由于系统泄漏或表面蒸发等原因,压力可能升高,因此用维持泵继续抽吸。