求纳米级分辨率,高精度微位移传感器,尺寸小方便安装,

这个要根据你所需要测量的有销量呈来看。传说中的电涡流传感器是可以达到纳米级,但是行程不会太长的。长一点的选择光栅,磁栅。行程长了保证纳米级有很大难度。