半导体晶片定位.请问半导体晶片定位用什么传感器测量?用激光定位传感器可以吗?还是别的什么传感器?

学习 时间:2026-08-14 07:04:51 阅读:7220
半导体晶片定位.请问半导体晶片定位用什么传感器测量?用激光定位传感器可以吗?还是别的什么传感器?

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坚强的小兔子

俊逸的冬天

2026-08-14 07:04:51

使用Kaman-SMT-9700测量系统,电涡流技术,每一个探头都能非接触测量目标的位置,纳米级的分辨率,传感器能够高度重复在腔室内使晶圆片对齐。

最新回答共有2条回答

  • 昏睡的猎豹
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    2026-08-14 07:04:51

    使用Kaman-SMT-9700测量系统,电涡流技术,每一个探头都能非接触测量目标的位置,纳米级的分辨率,传感器能够高度重复在腔室内使晶圆片对齐。

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