半导体晶片定位.请问半导体晶片定位用什么传感器测量?用激光定位传感器可以吗?还是别的什么传感器?

使用Kaman-SMT-9700测量系统,电涡流技术,每一个探头都能非接触测量目标的位置,纳米级的分辨率,传感器能够高度重复在腔室内使晶圆片对齐。