半导体晶片定位.请问半导体晶片定位用什么传感器测量?用激光定位传感器可以吗?还是别的什么传感器?
半导体晶片定位.请问半导体晶片定位用什么传感器测量?用激光定位传感器可以吗?还是别的什么传感器?
最佳回答
自觉的板凳
2026-09-28 19:06:13
使用Kaman-SMT-9700测量系统,电涡流技术,每一个探头都能非接触测量目标的位置,纳米级的分辨率,传感器能够高度重复在腔室内使晶圆片对齐。
最新回答共有2条回答
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2026-09-28 19:06:13欣喜的白开水
回复使用Kaman-SMT-9700测量系统,电涡流技术,每一个探头都能非接触测量目标的位置,纳米级的分辨率,传感器能够高度重复在腔室内使晶圆片对齐。
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