罗茨泵和干泵最近工作中涉及到了真空泵,不懂这个,是一台ads602真空泵,由罗茨泵和干泵组成,设备工作时是先预抽到500
罗茨泵和干泵最近工作中涉及到了真空泵,不懂这个,是一台ads602真空泵,由罗茨泵和干泵组成,设备工作时是先预抽到500mtorr,在继续主抽抽真空到10mtorr,这里罗茨泵和干泵必须配合使用吗?他们分别起什么作用?所谓干泵是专指一种泵吗,很多泵都叫干泵啊?另外不明白系统工作时是怎么自动切换预抽,主抽的,泵单独工作根本不和系统连接啊(当然有连个蝶阀)?求指教
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这里罗茨泵和干泵必须配合使用,因为罗茨泵是不能单独使用的,必须与一台前级真空泵(前级真空泵可以是干泵、水环式真空泵或者旋片式真空泵都可以,你这儿用的是干泵)串联,待前级泵抽到一定的压力后才能够启动罗茨泵,罗茨泵的优点就是在较低的入口压力下具有较高的抽气速度,通俗点讲就是在较高的真空度下仍有比较大的抽速。配用不同的前级泵能够达到的极限真空也是不同的。 再问: 谢谢,就是说干泵抽到一定低压后就抽不下去了或很慢,会启动罗茨泵,可是为什么另一种也要抽真空的设备用一种干式螺杆泵就能直接抽到真空呢(因为设备体积小?)? 再答: 工况不同的原因,我们公司做的干式爪泵单独使用也是能达到133帕的真空度的。
最新回答共有2条回答
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2026-04-07 23:59:04整齐的导师
回复这里罗茨泵和干泵必须配合使用,因为罗茨泵是不能单独使用的,必须与一台前级真空泵(前级真空泵可以是干泵、水环式真空泵或者旋片式真空泵都可以,你这儿用的是干泵)串联,待前级泵抽到一定的压力后才能够启动罗茨泵,罗茨泵的优点就是在较低的入口压力下具有较高的抽气速度,通俗点讲就是在较高的真空度下仍有比较大的抽速。配用不同的前级泵能够达到的极限真空也是不同的。 再问: 谢谢,就是说干泵抽到一定低压后就抽不下去了或很慢,会启动罗茨泵,可是为什么另一种也要抽真空的设备用一种干式螺杆泵就能直接抽到真空呢(因为设备体积小?)? 再答: 工况不同的原因,我们公司做的干式爪泵单独使用也是能达到133帕的真空度的。
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