j急!关于抽真空中的主阀,前级阀,旁路阀,扩散泵,机械泵的作用及抽的哪 部分的真空?

从真空室出来,先一个主阀,再到扩散泵,这是高真空的抽气管路（在主阀与扩散泵之间最好有个冷凝器之类的东西,因扩散泵中的油比较容易返油）。粗抽的话,是从真空室出来到粗抽阀门,到机械泵。扩散泵与机械泵之间用的是前级阀。