我单位的真空溅射镀膜机今天换了铝靶后开机运行,mp5刚加功率就放炮了,测靶与壳体电阻,200k欧档为90k欧,2000k

测量磁控靶的绝缘最好用兆欧表,1000V兆欧表就够了,因为磁控靶在工作时,电压是很高的,你用万用表测量的绝缘度够,但是实际使用时由于阴阳极之间的电压高,所以绝缘度就不够了。所以测量靶阴极和壳体以及悬浮极的绝缘得用兆欧表。注意测量时最好拔掉电源输出线,避免兆欧表会击穿电源元件。